ユニバーサルロボット用アクセサリー

ハーモテック社ユニバーサルロボット用KUMADE Fork

Harmotec
ハーモテック社ユニバーサルロボット用KUMADE Fork

概要

ハーモテック社のKUMADEとは高速の旋回流を発生させ旋回流中心部の 負圧によりワーク物を保持するという新しい概念から生まれた技術です。

用途

  • 産業用途

製品特長

名称未設定 2
 

・非接触
 円筒室内の負圧によってオブジェクトを浮上させ、円筒室から流出する流体等によって非接触(0.1mm~
 0.2mmスキ間)にてオブジェクトを保持することが可能。
 

・低ストレス

 KUMADE独自の技術により、広範囲に負圧を発生させることが可能なため、薄くなったウェーハや、
 15mm程度反り上がったウェーハを矯正し安全・ 安心に搬送することが可能です。

 ウェーハ自体が受けるストレスが真空吸着と比べると桁違いに(約1/360)低くなっております。

・省エネ・薄型化

 従来品の約1/7の消費流量にて機能を発揮します。
  従来品とエアー吐出方法が違い、ウェーハ等に対し平行に吐出するため、KUMADE

 自体の厚みを薄くすることができ、ロボッ
 トのエンドエフェクターへの使用が可能です。

・高矯正力

 KUMADE独自の自己整合保持機能に
 より、反ったウェーハを大きな力で
 引き付けることが可能

吸引力データ

製品仕様

タイプKUMADE FORK
モデルKMWF-06KMWF-08KMWF-12
適応品種6インチウェーI\/61nch8インチウエーハ/8inch12インチウェーハ/12inch
使用流体クリーンドライエアー・N2
消費流量50 SLM65 SLM80 SLM
使用圧力範囲0. 01 MPa~0.35MPa(01kヅ/cm2~3.5 kgf/cm2)
ガイド駆動圧 範囲0. 3 MPa~0.7MPa(3 kgf/cm2 ~ 7.l1kgf/cm2)
ギャップ値0.05-0 2 mm
位置決め精度士0.1mm
ガイドストローク2 mm 2 mm 4 mm 
本体質量0.22 kg0.29 kg 1.18kg

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