超短パルスレーザー
Huaray社 産業用ピコ秒UVレーザー
Huaray Precision Laser ﾊｰﾚｲ ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ ﾚｰｻﾞ社
概要
ハーレイ プレシジョン社のオリーブ（Olieve）シリーズはDPSSレーザーとファイバレーザーの利点から設計されたパルス幅< 10psのピコ秒UVレーザーです。
アプリケーション対応素材
・ウエハ ・偏光フィルム ・PETフィルム ・太陽光発電 ・LCD/OLED
・半導体 ・セラミック ・サファイア ・ガラス
- 波長
- 355 nm
- 出力
- 10 W
用途
- 微細用途
- 産業用途
製品特長
・ 多くの産業分野で実績のある高い信頼性
・ 優れたビーム品質（M2<1.3)
・ 非熱微細加工に適した超短パルスレーザー
・ オプション対応可能
・ バーストモード対応
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製品仕様
| 項目／モデル | Olive-355-5 | Olieve-355-10 | Olive-355-30 |
|---|---|---|---|
| 波長 | 355 nm | ||
| 平均出力 | >5 W@1 MHz | > 10 W@1 MHz | >30 W@800 kHz |
| 最大パルスエネルギー | >10uJ@400kHz | > 10 uj@1 MHz | >75 μJ |
| 繰り返し周波数 | 400 kHz 〜 1 MHz | ||
| パルス幅 | < 10 ps | ||
| 出力安定性 | ≦1% rms | ≦3% rms | |
| パルス安定性 | ≦2% rms | ||
| ビーム横モード | M2≤1.3 | ||
| ビーム径 | 1.5 mm±0.2 mm | ||
| ビーム拡がり角 | ≦ 2 mrad | ≦ 3 mrad | |
| ビーム真円率 | ≧90 % | ||
| 偏光比 | 水平>100:1 | ||
| ウォーミングアップ時間 | 30分 | ||
| 環境温度 | 15 ℃ 〜 35 ℃ | ||
| 環境湿度 | ＜65 ％ | ||
| 冷却 | 水冷 | ||
| 消費電力 | 1200 W | 1600 W | |
| レーザークラス | クラス 4 | ||
| 使用電圧 | AC100V〜240V | ||
| レーザーヘッドサイズ（L×D×Ｈ） | 810 × 414 ×171 mm | 1000 x 466 x195 mm | 992 × 500 ×186 mm |
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