高精度ステージ

XYグラナイトステージ

ボッシュマイクロシステムズ Busch Microsystems
XY granite

概要

グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度XYステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。

詳しくはBusch Microsystemsの特設サイトを御覧下さい。

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用途

  • 加工用途
  • 微細用途
  • 産業用途
  • 計測用途

製品仕様

項目/モデルXY-G-200XY-G-300
移動距離200 mm300 mm
最大速さ0.2 m/s
最大加速度4 m/s23 m/s2
最大荷重5 kg
重量52 kg74 kg
分解能1 〜 100 nm
絶対精度2 um3 um
繰返し精度0.2 um
ピッチング30 urad50 urad
ローイング15  urad20 urad
ヨーイング30 urad50 urad

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