高精度ステージ

グラナイトリニアステージ

ボッシュマイクロシステムズ Busch Microsystems
Granite stage

概要

グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度ステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。

詳しくはBusch Microsystemsの特設サイトを御覧下さい。

用途

  • 加工用途
  • 微細用途
  • 産業用途
  • 計測用途

製品特長

グラナイトベースにリニアモーターを用いた超高精度ステージにより、超短パルスレーザーを用いた微細加工に有力です。コントローラはイスラエルのACS社とのジョイントベンチャーであるBusch ACS 社を設立し、より精密加工の仕様に応えることができます。

製品仕様

項目/モデルLT-G-150LT-G-200
移動距離150 mm200 mm
最大速さ0.2 m/s
最大加速度0.5 m/s2
最大荷重5 kg
重量6.8 kg8 kg
分解能1 〜 100 nm
絶対精度1.5 um2 um
繰返し精度0.2 um
ピッチング50 urad60 urad
ローイング30  urad40 urad
ヨーイング50 urad60 urad

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