超短パルスレーザー
Huaray社 産業用Greenピコ秒レーザー
Huaray Precision Laser ハーレイ プレシジョン レーザ社
概要
ハーレイ プレシジョン社のオリーブ(Olieve)シリーズはDPSSレーザーとファイバレーザーの利点から設計されたパルス幅< 10ps, Olive-532-30は>30Wのピコ秒レーザーです。
アプリケーション素材
・ウェーハ ・医療用フィルム ・偏光フィルム ・PETフィルム ・PLフィルム ・太陽光発電
・バッテリータブ ・LCD/OLED ・半導体 ・セラミック ・サファイア ・ガラス
- 波長
- 532 nm
- 出力
- 15 W, 30 W
用途
- 微細用途
- 産業用途
製品特長
・ 多くの産業分野で実績のある高い信頼性
・ 優れたビーム品質(M2<1.3)
・ 非熱微細加工に適した超短パルスレーザー
・ オプション対応可能
・ バーストモード対応
ダウンロード
製品仕様
項目/モデル | Olive-532-15 | Olive-532-30 |
---|---|---|
波長 | 532 nm | |
平均出力 | > 15 W@500 kHz | >30 W@1 MHz |
繰り返し周波数 | 400 kHz 〜 1 MHz | 1 MHz 〜 2 MHz |
最大パルスエネルギー | >30 μJ@500 kHz | >30 μJ@1 MHz |
パルス幅 | <10ps | |
出力安定性 | ≦3%rms | |
ピーク間安定性 | ≦2%rms | |
ビーム横モード | M2≤1.3 | |
ビーム径 | ≤ 1.5 mm±0.2 mm | 1.5 mm±0.5 mm |
ビーム真円率 | ≥ 85 % | |
偏光比 | 水平、> 100:1 | |
ビーム拡がり角 | ≤2 mrad | ≦3 mrad |
ウォームアップ時間 | < 30分 | |
環境温度 | 15℃〜35℃ | |
環境湿度 | < 65% | |
冷却 | 水冷 | |
使用電圧 | AC100〜240 V | |
消費電力 | 1200 W | |
レーザークラス | クラス4 | |
レーザーヘッドサイズ(L×D×H) | 1000 mm × 466 mm ×186mm | |
電源サイズ | 484mm × 412 mm × 88 mm |
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