・超広波長域ディスパーシブミラー ・高ディスパージョンミラー ・正ディスパージョンミラー ・3次ディスパージョンミラー ・超高反射率ミラー ・カスタムディスパーシブオプティクス・特殊オプティクス ・ARコーティング・ビームスプリッタ・分光フィルタ ・XUV多層膜ミラー
・XUV/IRパルス・ディレイユニット ・オール・ディスパーシブ・ミラーのコンプレッサーユニット ・XUV分光器 ・XUV多層膜モノクロメータ ・真空ビームラインの設計・製造 ・ビーム・プロファイラ ・3次オートコリレータ
・マグネトロン・スパッタリング・システム Helios(Leybold Optics社製) ・イオン・ビーム・デポジション・システム Nexus IBD-O(Veeco社製) ・電子線蒸着システム SyrusPro-710(Leybold Optics社製)
・反射率計測・分光計測 ・ディスパージョン計測 ・表面検査 ・ダメージ閾値計測