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米国 モビウスフォトニクス社
米国モビウスフォトニクス社は、ファイバアンプレーザのメーカです。 産業用途向けに固体レーザを供給してきた技術者、研究者により2005年に設立されました。ファイバアンプレーザは、LD光をファイバアンプ方式を用いて増幅する、モビウスフォトニクス社独自の技術であり、高繰返し,メンテナンスフリーが特徴です。
完全空冷ファイバアンプレーザ G1
+
レーザシステム 1064,532,&355nm
モビウスフォトニクス社のファイバアンプレーザG1
+
は高エネルギー、高繰返し周波数のファイバアンプレーザです。従来の固体レーザとは異なり、出力、繰返し周波数等の動作条件を変更しても、ビーム径位置安定性等の空間特性は変化しません。また、従来のファイバレーザとは異なり、狭い線幅と高エネルギーパルスは高い波長変換効率を持ち、10WのUVモデルも標準ラインナップしています。
【用途例】
・ウェハのスクライビング/ダイシング
・低誘電率材料のスクライビング
・太陽電池のスクライビング/切断
・円形トリミング
・リンクブローイング
・サファイアのスクライビング
・セラミックス加工
・フラットパネルの製造/修理
・精密溶接
・ワイヤーボンディング(特に、金/銅)
・フォトレジストパターニング
など
仕様/モデル
1064-30
532-18
355-10
波 長
1064nm
532nm
355nm
最大平均出力
30W
18W
10W
最大パルスエネルギ
500μJ
250μJ
100μJ
繰り返し周波数
0〜1MHz
ピークパワー
50kW
35kW
25kW
パルス幅
固定モデル 2ns、可変モデル 6〜100ns
ビーム横モード
TEM
00
M
2
<1.3
偏 光
リニア >100:1
出力安定性
※
<±3%
線 幅
<0.5nm
動作電圧
AC100/200V(50/60Hz)
最大消費電力
<2,500W
インターフェイス
RS232、USB/Ethernet(オプション)
サイズ、重量
レーザヘッド:550×480×75mm、 <18kg
ソースモジュール:4RU、 <13kg
ポンプモジュール:4RU、 <28kg
動作温度/湿度
15〜30℃ / 5〜85%RH
※ 測定時間8時間以上、周囲の温度変化±2℃